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    高溫爐操作規程有哪些說明?
    發布時間:2016年8月26日

    高溫爐操作規程
    一、 準備工作
    a、檢查連接線是否正常。
    b、檢查電源線接觸是否良好。
    c、檢查密封性是否正常。
    d、檢查冷卻水是否正常。
    e,、準備所需工具:無水酒精、無塵紙、作業手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車、不銹鋼托盤
    二、開爐
    a、打開主電源開關
    b、向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
    c、將輸送車開關打至 OUT
    d、清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物
    三、裝料
    a、將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
    b、拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并確定輸送車會到初始位置。
    c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門。
    四、抽氣
    a、檢查爐門是否關緊,真空系統是否密封。
    b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率。
    c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
    d、加熱 先打開水環泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
    e、冷卻。加熱結束后,按工藝條件進行冷卻。

     

     

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